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Robot articulé NTS series 4 axes5 axesde manutention
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Caractéristiques
- Type
- articulé
- Nombre d'axes
- 4 axes, 5 axes
- Fonction
- de manutention
- Domaine d'application
- pour salle blanche
- Charge maximale
0,7 kg
(1,543 lb)- Rayon d'action
1 066 mm
(41,97 in)- Répétabilité
0,1 mm
(0,0039 in)
Description
Le robot de la série NTS peut accéder aux 2 et 3 FOUP de l'EFEM sans rail. Le système d'entraînement spécialement conçu permet au robot de se déplacer de manière incroyablement souple et avec une grande précision.
La série est conforme à la norme SEMI-F47 et à la norme SEMI-S2.
Applications
Manipulation de plaquettes de silicium
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Catalogues
Clean Robot NTS, TTS series
2 Pages
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