Élément chauffant pour four de diffusion

en siliconeen céramiqueen polyimide

Les cassettes de calibre léger sont composées de fils de calibre léger formés en motifs sinusoïdaux ou en bobines à ressort. Le calibre léger fait référence à l’utilisation de fils de plus petit diamètre dans la construction de cassettes. Cette configuration est cruciale pour un contrôle précis et un temps de réponse du processus de diffusion. Applications Applications LPCVD et basse température : utilisées lorsqu’un contrôle précis des basses températures est requis. Des applications telles que LPCVD ; polysilicium, nitrure et oxyde à basse température. Atmosphérique ; recuit H2, durcissement du polyimide. Applications de réponse rapide en température : idéal pour les processus qui nécessitent des changements rapides de température. Applications de refroidissement rapide : efficace dans les applications nécessitant un refroidissement rapide. Un appareil de chauffage de faible masse typique se compose de : Moules en céramique demi-coquille avec sinuation de fil incorporée ou bobines à ressort. Moule en céramique soutenu par une fibre de couverture sèche pour une valeur d’isolation conçue et une compression équilibrée. Isolateurs d’extrémité de vestibule en céramique formés sous vide. Variétés de pinces de position de thermocouple. Verrous de plomb en céramique sur les éléments à bus interne. Blocs d’alimentation sur bus externe. Fil sinué de calibre moyen et léger, ou enroulé à ressort à froid avec des machines de précision. Modèles de courbure sinués typiques de 25 mm et 50 mm. Boîtiers extérieurs en acier inoxydable ou en aluminium. Conception à faible masse pour des températures basses et une réponse thermique plus rapide. Revêtement de surface blanc ou noir.