Microscope électronique à balayage JSM-7900F

pour analysede métrologiehaute résolution

Le JSM-7900F est le nouveau fleuron du FE-SEM de JEOL qui combine une imagerie à très haute résolution, une stabilité améliorée et une facilité d'utilisation exceptionnelle pour tout niveau d'opérateur dans un environnement polyvalent. Neo Engine（New Electron Optical Engine） (Nouveau moteur optique électronique) Fonctionnalité nouvellement développée qui intègre le système de contrôle de l'objectif et la technologie automatique, "Neo Engine" (New Electron Optical Engine) est une caractéristique standard. Même si les conditions optiques des électrons sont modifiées, l'alignement du faisceau ne change pas, ce qui permet une acquisition rapide et facile des images, quelles que soient la tension d'accélération et l'intensité du courant de la sonde. Ce système est le premier exemple de la technologie avancée de JEOL en matière d'optique électronique. Amélioration de la fonction d'automatisation Échantillon : Coupe transversale d'un minéral (enrobé de résine) fraisé par CP, Vol. d'acc. Vol. : 5kV, Détecteur : RBED, grossissement : ×100,000 Amélioration de la précision du grossissement Échantillon : Échantillon pour la métrologie (MRS5), Acc. 10kV, grossissement : ×50,000 Amélioration de l'utilisation du mode de filtrage de l'énergie Spécimen : Carte nominative, Acc. Vol. : 15kV, Détecteur, UED, Grossissement : ×3,500 GBSH-S (GENTLEBEAM™ Super High resolution Stage bias mode) GBSH est une méthode qui améliore la résolution spatiale quelle que soit la tension d'accélération. La nouvelle méthode GBSH-S permet d'appliquer une tension de polarisation maximale de 5 kV à l'étage d'échantillonnage. ※GENTLEBEAM™ est la fonction qui décélère le faisceau d'électrons illuminés et le signal d'électrons accélérés en utilisant une tension de polarisation pour l'échantillon. Nouveau détecteur d'électrons rétrodiffusés Le nouveau détecteur d'électrons rétrodiffusés ultra-sensible permet d'obtenir une image clairement contrastée. La sensibilité du détecteur est fortement améliorée et une image à fort contraste de composition peut être observée à une faible tension d'accélération.