Source de faisceau d'électrons BS-60070DEBS

Sources de faisceaux d'électrons / alimentations pour le dépôt par faisceau d'électrons utilisé pour créer différents types de films, y compris des films optiques et des revêtements d'électrodes. Caractéristiques Caractéristiques de la méthode de dépôt par faisceau d'électrons L'efficacité thermique est assez bonne en raison du chauffage dû à l'irradiation directe du faisceau d'électrons sur le matériau de dépôt. Il est possible de vaporiser une variété de matériaux, y compris des métaux à point de fusion élevé, des oxydes, des composés et des matériaux de sublimation. Comme le matériau de dépôt est directement chauffé dans le creuset refroidi à l'eau(*), il n'y a pas de réaction du bateau ou du creuset comme c'est le cas avec les méthodes de chauffage par résistance ou par induction. Dans certains cas, un revêtement de foyer est utilisé Comme il est possible de contrôler la sortie à grande vitesse, il est possible de contrôler avec précision l'épaisseur du film. Par rapport aux méthodes de pulvérisation et de dépôt chimique en phase vapeur, la vitesse de création du film est une caractéristique essentielle. Ceci est également utile pour créer des revêtements épais de 1µm ou plus. Caractéristiques des sources de faisceaux d'électrons JEOL [Oxydes ] L'angle d'incidence du faisceau est perpendiculaire au matériau de dépôt et le spot de faisceau à haute densité énergétique est presque un cercle parfait. La fonction de balayage à grande vitesse étant standard, elle convient au dépôt sur des matériaux de sublimation et des oxydes à faible conductivité thermique et à point de fusion élevé. Il permet d'obtenir d'excellents restes fondus, ce qui permet une distribution uniforme et reproductible de l'épaisseur du film sur une large zone. [Métaux ] Il est possible de choisir parmi une large gamme de creusets, ce qui permet de réaliser des dépôts multi-types, à grand volume et à grande vitesse. Il existe également un canon à électrons compatible avec le procédé lift-off afin de limiter l'augmentation de la température lors de la création du film.