Robot SCARA IWH Series 1pour manutention de wafers
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Caractéristiques
- Type
- SCARA
- Fonction
- pour manutention de wafers
- Charge maximale
Max: 1 kg
(2,205 lb)Min: 0 kg
(0 lb)- Répétabilité
0,02 mm
(0,0008 in)
Description
Les robots de la série 1 sont conçus pour la manipulation de plaquettes. Grâce au système modulaire, différents corps de base de 7" à 21" de course Z peuvent être combinés avec de nombreux ensembles de bras différents de 10,5" à 28". En fonction de la combinaison des axes, il est ainsi possible de manipuler des poids allant jusqu'à 3 kg avec les manipulateurs de plaquettes.
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* Les prix s'entendent hors taxe, hors frais de livraison, hors droits de douane, et ne comprennent pas l'ensemble des coûts supplémentaires liés aux options d'installation ou de mise en service. Les prix sont donnés à titre indicatif et peuvent évoluer en fonction des pays, des cours des matières premières et des taux de change.