Sonde de Langmuir Plato

de densité plasmatique

La sonde Plato Probe est une sonde Langmuir plane conçue pour fonctionner dans les plasmas de dépôt lorsqu'un film isolant est déposé sur la surface de la sonde. Cette sonde Langmuir tolérante au dépôt peut rester à l'intérieur d'un réacteur à plasma lorsque des gaz isolants agressifs sont utilisés. La sonde Plato Probe mesure les paramètres du plasma tels que la densité du plasma, la densité du courant ionique et la température des électrons dans les plasmas avec des taux de dépôt élevés, comme le dépôt chimique en phase vapeur amélioré par plasma (PEVCD). Depuis de nombreuses années, il est difficile de mesurer les paramètres du plasma dans des environnements de dépôt élevé. Impedans a développé une technologie révolutionnaire qui mesure les paramètres du plasma, même lorsqu'une couche isolante épaisse est déposée à la surface de la sonde. La sonde Plato Probe est une sonde Langmuir plane pour le dépôt plasma lorsqu'un film isolant est déposé sur la surface de la sonde. La sonde Plato Probe est la première sonde Langmuir sur le marché qui peut fonctionner dans des plasmas avec des taux de dépôt élevés. Une caractéristique unique de la sonde Plato Probe est sa capacité à mesurer avec précision les paramètres clés du plasma à travers une couche déposée de plusieurs microns d'épaisseur. Le dépôt de couches isolantes n'affecte pas la précision de la mesure de la sonde. La sonde Plato Probe est un instrument unique qui permet aux scientifiques de mesurer la densité plasmatique et la température des électrons du plasma, y compris le plasma déposé. La sonde Plato Probe permet la mesure des paramètres plasma en DC, RF, micro-ondes, plasma continu et pulsé.