Système de mesure de ratio Quantum

ions/neutrespour réacteur à plasma

La microbalance quadrillée résolue par énergie de cristal de quartz de Quantum est un instrument unique pour mesurer le rapport des ions aux neutres frappant une surface à l'intérieur d'un réacteur de plasma, a parfois appelé l'ion fraction neutre. Cet instrument de tranchant mesure également le taux de dépôt, l'énergie d'ion, le flux d'ion et la tension de polarisation. Le rapport aux neutres des ions arrivant à une surface, que ce soit décentré ou fondé est maintenant mesurable par ce système d'inauguration. Les mesures à un seul capteur de Quantum la fraction neutre d'ion ou la fraction d'ionisation de flux arrivant à une surface à l'intérieur d'un réacteur de plasma. Il mesure également le taux de dépôt, l'énergie d'ion, le flux d'ion et la tension de polarisation à n'importe quel emplacement à l'intérieur d'un réacteur de plasma. La microbalance à un seul capteur ou quadrillée de Quantum de quartz de cristal est très utilisée dans beaucoup de secteurs à travers l'industrie et la recherche, telle que le dépôt de plasma, les revêtements, la pulvérisation de plasma, le faisceau d'ions de PECVD, gravure à l'eau-forte et. Quantum à un seul capteur fournit la fraction d'ionisation de flux, une mesure qui est essentielle dans la plupart des applications de plasma mais jusqu'ici a été très difficile de réaliser. Les rapports d'ionisation trouvent des applications en recherchant des recettes de nouveaux processus, de confirmation nouvelles et des modèles et peuvent être employés dans le développement de nouveaux outils et de processus de plasma.