Instrument de mesure de concentration CS-900F

à semi-conducteursans contactpour fibre optique

Présentation
Mesure de concentration sans contact et stable pour les produits chimiques des procédés semi-conducteurs. Le CS-900F utilise une cellule à fibre optique montée sur la tuyauterie, réduisant au minimum les risques de fuite et de contamination. Il couvre une gamme élargie de produits chimiques en milieu humide et permet la mesure directe d'échantillons à haute température jusqu'à 80 °C sans prétraitement, améliorant la stabilité opérationnelle et la polyvalence en tant que modèle phare de la série CS.

Principales caractéristiques

• Conception compacte avec performances de mesure stables : les câbles à fibre optique réduisent le volume de la cellule installée dans l'équipement d'environ 60 % par rapport aux modèles précédents, diminuant la sensibilité aux perturbations externes.
• Compatibilité chimique étendue : plage de longueurs d'onde multipliée par environ trois par rapport aux modèles antérieurs, permettant la mesure d'un plus grand nombre de produits chimiques de procédé ; mesure directe jusqu'à 80 °C pour une exploitation plus sûre.
• Sécurité et optimisation des procédés : la cellule se monte sur la tuyauterie pour une mesure sans contact, réduisant les risques de fuite et de contamination et contribuant à limiter la consommation de produits chimiques.
• Interfaces et fonctions : alimentation 24 V DC, sortie de transmission, sortie de contact, communication RS-232C ; prise en charge des mesures multicomposants et de l'analyse multivariée avec compensation de température.

Caractéristiques techniques
Nom du produit : Capteur de concentration chimique sans contact de type fibre optique
Modèle : CS-900F
Principe de mesure : Spectroscopie d'absorption
Méthode de calcul : Analyse multivariée avec compensation de température

Plage de mesure et répétabilité (masse %)

• Modèle : CS-900F-1-1-1P-1P25P5-AA
  Composant : NH3 — Plage : 0.00 à 1.20 — Répétabilité : ±0.05 — Plage de sortie analogique : 0.00 à 10.00
  Composant : H2O2 — Plage : 0.00 à 5.50 — Répétabilité : ±0.10 — Plage de sortie analogique : 0.00 à 10.00
  Composant : H2O — Plage : 93.3 à 100.0 — Répétabilité : ±1.0 — Plage de sortie analogique : —
• Modèle : CS-900F-1-1-1P-P8P8-11
  Composant : NH3 — Plage : 0.00 à 0.80 — Répétabilité : ±0.03 — Plage de sortie analogique : 0.00 à 1.00
  Composant : H2O2 — Plage : 0.00 à 0.80 — Répétabilité : ±0.03 — Plage de sortie analogique : 0.00 à 1.00
  Composant : H2O — Plage : 98.4 à 100.0 — Répétabilité : ±0.2 — Plage de sortie analogique : —

Conditions de mesure
Intervalle de mesure : env. 5 s
Moyenne mobile : 16 fois

Tuyauterie et installation
Tuyau PFA : 1 pouce ou 3/4 pouce (éviter la partie noire antistatique). La surface de la tuyauterie doit être exempte de rayures, bosses et opacités. Monter la cellule sur la tuyauterie ; respecter un angle d'installation de l'unité principale dans ±1°.

Conditions d'échantillon
Température d'échantillon : 20 à 80 °C
Variation de température atmosphérique/échantillon : ±1 °C sur 1 heure
Pression d'échantillon : < 0,4 MPa (G) ; variation de pression dans 0,02 MPa. Éviter les bulles d'air dans l'écoulement ; si la pression de mesure diffère de celle utilisée pour la correction de fond, effectuer une correction du point zéro.

Alimentation et données physiques
Alimentation : 24 V DC
Consommation : env. 40 W (hors courant d'appel au démarrage)
Poids : unité principale env. 5,8 kg ; unité cellule env. 1,4 kg
Dimensions : unité principale 217 (L) × 290 (P) × 173 (H) mm (hors saillies) ; unité cellule 186 (L) × 142 (P) × 83 (H) mm (hors saillies)
Durée de vie prévue de la source lumineuse : 5 ans
Câble à fibre optique : longueur standard 5 m ; rayon de courbure R150 mm