Système de détection de particules PD Xpadion

Une plateforme d'inspection de nouvelle génération pour répondre aux besoins futurs PD-Xpadion est la dernière génération de la ligne de produits d'inspection de particules HORIBA. Basé sur une plateforme modulaire innovante, PD Xpadion est l'outil idéal pour répondre aux besoins actuels et futurs de l'inspection des masques et des pellicules dans les processus de lithographie et de production de masques. L'automatisation de la fabrication, combinée à une suite de technologies de base HORIBA, permet aux utilisateurs d'étendre le système PD Xpadion pour inclure non seulement l'inspection et la détection des particules, mais aussi la caractérisation des particules par analyse Raman, l'épaisseur et l'uniformité du film de la pellicule, et les outils de surveillance de la santé de la pellicule. Caractéristiques Sensibilité de détection réglable par l'utilisation d'une combinaison de systèmes optiques OHT, EFEM, adaptation multiport, multi-fente Possibilité de réanalyser les données d'inspection pour une optimisation plus rapide de la recette d'inspection Options d'intégration avec d'autres capteurs HORIBA tels que la spectroscopie Raman et l'ellipsométrie Fonction de réduction des fausses détections Logiciel innovant avec une facilité d'utilisation améliorée