video corpo

ellipsomètre spectroscopique
Smart SE

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ellipsomètre spectroscopique ellipsomètre spectroscopique - Smart SE
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Caractéristiques

  • Spécifications:

    spectroscopique

Description

Le Smart-SE est un ellipsomètre polyvalent et rapide dédié à la mesure dépaisseur et de constantes optiques (n,k) de couches minces sur la gamme de longueurs donde 450-1000nm.
Le Smart-SE intègre une sélection automatique de sept tailles de spot (de 75 à 1500µm), combinée à un système de vision permettant un placement précis du spot sur la zone à mesurer.

Le Smart-SE se décline en trois versions : manuelle, automatique et in-situ.

Le Smart-SE est piloté par la plateforme logicielle DeltaPsi 2 intégrant une version recette pour des mesures routinières et une version scientifique pour de la caractérisation avancée des couches minces.

Lellipsomètre Smart-SE répond aux besoins de caractérisation des couches minces dans les domaines des semiconducteurs, du photovoltaique et de loptoélectronique.