Les capteurs Honeywell Zephyr™ HAF Series fournissent une interface numérique pour la lecture du débit d'air sur des plages de débit pleine échelle et de température compensée spécifiées. L'élément chauffant et les éléments de détection de température isolés thermiquement aident ces capteurs à fournir une réponse rapide au débit d'air ou de gaz.
Les capteurs Zephyr sont conçus pour mesurer le débit massique d'air et d'autres gaz non corrosifs.
10 SLPM à 300 SLPM
Les gammes de débit standard sont 10 SLPM, 15 SLPM, 20 SLPM, 50 SLPM, 100 SLPM, 200 SLPM ou 300 SLPM, avec des gammes de débit personnalisées disponibles. Les capteurs sont entièrement calibrés et compensés en température grâce à un circuit intégré spécifique (ASIC) embarqué.
La série HAF >10 SLPM est compensée sur une plage de température étalonnée de 0 °C à 50 °C [32 °F à 122 °F]. La compensation de pointe basée sur un ASIC fournit des sorties numériques (I2C) avec un temps de réponse de 1 ms.
±50 SCCM à ±750 SCCM
Les gammes de débit standard sont disponibles à ±50, ±100, ±200, ±400 ou ±750 SCCM. Des gammes de débit personnalisées sont également disponibles. Les capteurs sont entièrement calibrés et compensés en température grâce à un circuit intégré spécifique (ASIC) embarqué.
La série HAF est compensée sur une plage de température de 0 °C à 50 °C [32 °F à 122 °F] et fonctionne sur une plage de température de -20 °C à 70 °C [-4 °F à 158 °F]. La compensation de pointe basée sur un ASIC fournit des sorties numériques (I2C) avec un temps de réponse de 1 ms.
Ces capteurs fonctionnent sur le principe du transfert de chaleur pour mesurer le débit massique d'air. Ils se composent d'un micro-pont Microelectronic and Microelectromechanical System (MEMS) avec des résistances sensibles à la température déposées avec des films minces de platine et de nitrure de silicium.
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