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Microscope électronique à balayage en transmission SU9000II
pour analysepour la rechercheBF-STEM

microscope électronique à balayage en transmission
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Caractéristiques

Type
électronique à balayage en transmission
Applications
pour analyse, pour la recherche
Technique d'observation
BF-STEM, DF-STEM
Configuration
au sol
Source d'électrons
à émission de champ froid
Type de détecteur
d'électrons secondaires, d'électrons rétrodiffusés
Autres caractéristiques
de haute définition, pour échantillon plat, pour semi-conducteur, pour échantillons polis, pour la topographie, pour nanotechnologie, pour identification d'amiante, pour wafer, pour applications en micro-imagerie, ultra haute résolution
Grossissement

3 000 000 unit

Résolution spatiale

0,4 nm, 0,8 nm, 1,2 nm

Description

La source d'émission en champ froid est idéale pour l'imagerie à haute résolution, avec une taille de source et une répartition d'énergie réduites. La technologie innovante du canon CFE contribue à l'ultime FE-SEM avec une luminosité et une stabilité du faisceau supérieures, permettant une imagerie à haute résolution et une analyse élémentaire de haute qualité. Pour permettre une acquisition stable des données aux niveaux de performance les plus élevés de l'instrument, le SU9000II offre de nouvelles capacités qui permettent des ajustements automatisés du système optique, ainsi que le nouveau logiciel EM Flow Creator en option pour permettre l'acquisition automatisée des données, en particulier la collecte de données séquentielles. En outre, la conception unique du système optique offre une capacité d'EELS pour l'analyse avancée des matériaux. Le SU9000 est le nouveau MEB haut de gamme de HITACHI. Il est doté d'une optique électronique unique, l'échantillon étant placé dans un espace entre les parties supérieure et inférieure de la pièce polaire de la lentille de l'objectif. Ce concept dit "true in-lens" - combiné à la nouvelle génération de la technologie d'émission à champ froid de HITACHI - garantit la résolution la plus élevée possible du système (résolution SE 0,4 nm à 30 kV, 1,2 nm à 1 kV sans technologie de décélération du faisceau [0,8 nm avec décélération du faisceau]) et la stabilité. Pour que ce pouvoir de résolution puisse être utilisé dans des applications pratiques au sein de votre laboratoire, le SU9000 utilise une platine d'échantillonnage à entrée latérale ultra stable, similaire aux systèmes TEM haut de gamme, et intègre un amortissement optimisé des vibrations ainsi qu'une armoire fermée pour protéger l'optique électronique du bruit ambiant.

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