Système de préparation d'échantillons automatique ArBlade 5000

pour SEMfraisage par faisceaux d'ions

Le système à faisceau d'ions large le plus avancé pour produire des échantillons de section transversale ou de fraisage à plat d'une qualité exceptionnelle pour la microscopie électronique. L'ArBlade 5000 est équipé d'un canon à ions Ar à fraisage rapide dont la vitesse de fraisage est deux fois plus élevée pour des performances de pointe, ce qui réduit considérablement le temps de traitement pour la préparation de sections transversales. *le 1Si dépasse de 100 um du bord du masque. Comparaison du fraisage de la section transversale (Spécimen : mine de crayon mécanique, temps de fraisage : 1,5 heure) Largeur de la section transversale jusqu'à 8 mm ! Pour les besoins de fraisage sur de grandes surfaces, comme les applications de dispositifs électroniques, un support de fraisage de section transversale révolutionnaire a été mis au point pour la fabrication de surfaces plus larges. Exemple de fraisage de sections transversales de grande surface (Échantillon : composant électronique, Temps de fraisage : 5 heures) Modèle hybride : Configuration de double fraisage disponible Le tout nouveau système de fraisage ionique est équipé de modes de fraisage en coupe transversale et de fraisage à plat pour répondre aux besoins des applications les plus complexes. Équipé de plusieurs supports, le système ArBlade 5000 s'adapte à une large gamme d'applications. Fraisage de la section transversale Utilisé pour produire des sections transversales plus larges et non déformées sans appliquer de contrainte mécanique à l'échantillon Fraisage à plat Utilisé pour éliminer les artefacts de la couche superficielle et le polissage final après les techniques traditionnelles de polissage mécanique. Les versions cryogéniques de l'ArBlade 5000 permettent un refroidissement actif de la platine de fraisage de la section transversale pendant le traitement de l'échantillon. Un vase de Dewar d'azote liquide intégré connecté à la platine de la section transversale élimine efficacement la chaleur induite pendant le fraisage par faisceau d'ions du masque de protection et de l'échantillon.