Le système de gravure de conducteurs M-600/6000 Series est destiné à la gravure de tranchées profondes en silicium pour les dispositifs de puissance utilisés dans les systèmes mobiles, les appareils électriques domestiques, les automobiles, les trains, etc.
La technologie de gravure à basse température et la technologie de polarisation TM (Time Modulation), associées à la source de plasma haute densité ECR (Electron Cyclotron Resonance), permettent d'obtenir un processus propre, des profils de tranchées supérieurs sans résidus sur les parois latérales et une excellente productivité.
Diamètre de tranche applicable : 150mm, 200mm
Configuration du système : 2 gravures + 2 cendres (max.)
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