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Système d'inspection laser NS7000 seriesde surface
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Caractéristiques
- Technologie
- laser
- Type
- de surface
Description
Un système d'inspection de surface de haute précision pour les substrats et les disques, doté d'une fonction sophistiquée de classification des défauts par irradiation laser du multi-daring et d'une nouvelle méthode de détection des défauts inclinés.
- Détection de défauts infimes avec une sensibilité élevée grâce à la méthode des défauts.
- Inspection sur la même broche à l'aide d'optiques multiples.
- Méthode du réflectomètre et du diffusomètre.
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