Spectromètre de masse à ionisation secondaire Compact SIMS

pour l'analysede mesurerapide

Compact SIMS - une percée dans la conception de l'analyse de surface L'outil SIMS compact de Hiden est conçu pour une caractérisation rapide et facile des structures de couche, de la contamination de surface et des impuretés. La détection sensible des ions positifs est assistée par le faisceau d'ions primaires d'oxygène et offre une sensibilité isotopique sur l'ensemble du tableau périodique. La géométrie du canon à ions est idéale pour la résolution en profondeur au nanomètre et l'analyse près de la surface. Contamination par le silicone Films minces Revêtement optique Matériaux électroniques Cellules solaires flexibles L'outil SIMS compact de Hiden est conçu pour une caractérisation rapide et facile des structures de couche, de la contamination de surface et des impuretés. La détection sensible des ions positifs est assistée par le faisceau d'ions primaires d'oxygène et offre une sensibilité isotopique sur l'ensemble du tableau périodique. La géométrie du canon à ions est optimisée pour une résolution en profondeur de l'ordre du nanomètre et une analyse proche de la surface. Un carrousel rotatif permet de charger simultanément 10 échantillons dans la chambre à vide à pompage sec. L'instrument a un faible encombrement et est exceptionnellement facile à utiliser. Il possède le même logiciel de contrôle et le même système de canon à ions que la gamme complète de stations SIMS de Hiden, fournissant des profils de profondeur, des images 3D et 2D et des données de spectres de masse. Le détecteur MAXIM-600P est basé sur le très fiable filtre de masse triple quadripôle Hiden de 6 mm avec détection d'ions pulsés. Un canon à électrons est disponible en option pour l'analyse des échantillons isolants. En plus de l'ISSM, le Compact SIMS dispose d'une fonction SNMS utile pour la quantification d'éléments à forte concentration, tels que les alliages.