Microscope infrarouge C10506-05-16

d'inspectioninverséproche infrarouge

Le microscope à émission inversée est un système d'analyse arrière conçu pour identifier les emplacements de défaillance en détectant la lumière et la chaleur émises par les défauts des dispositifs à semi-conducteurs. La détection du signal provenant de l'arrière facilite l'utilisation de la sonde et de la carte de sonde à la surface de la plaquette, et le réglage de l'échantillon peut être effectué en douceur. La plateforme, qui permet de monter plusieurs détecteurs et lasers, permet de sélectionner le détecteur optimal pour effectuer diverses méthodes d'analyse telles que l'analyse de l'émission de lumière et de la génération de chaleur, l'analyse IR-OBIRCH, et d'autres ; de plus, elle permet d'effectuer une analyse dynamique efficace par connexion du testeur. ●iPHEMOS-DD En se connectant directement au testeur LSI, le retard du signal dû à la longueur du câble de connexion peut être réduit, et l'analyse des échantillons de conduite à grande vitesse est possible. Le prober dédié à la connexion directe permet la fixation d'aiguilles à broches multiples sur des plaquettes de 300 mm et, avec l'option supplémentaire, il est possible d'effectuer l'analyse de paquets ainsi que la fixation d'aiguilles à broches par un manipulateur. Caractéristiques - Deux caméras à ultra-haute sensibilité pouvant être montées pour l'analyse des émissions et l'analyse thermique - Des lasers jusqu'à 3 longueurs d'onde et une source de lumière de sonde pour l'EOP peuvent être montés - Multi-plateforme capable de monter plusieurs détecteurs - Lentille macro à haute sensibilité et jusqu'à 10 lentilles adaptées à chaque longueur d'onde de sensibilité du détecteur Options - Comprend un système de balayage laser - Analyse des émissions avec une caméra infrarouge proche à haute sensibilité - Analyse thermique avec une caméra à infrarouge moyen à haute sensibilité - Analyse IR-OBIRCH - Analyse dynamique par irradiation laser - Analyse de l'observation de la Terre - Analyse haute résolution et haute sensibilité avec NanoLens