Système de mesure optique C12562-04

d'épaisseurà calibre universelautomatique

Le système de mesure d'épaisseur optique NanoGauge C12562 est un système de mesure d'épaisseur de film sans contact, compact et peu encombrant, conçu pour être facilement installé dans l'équipement là où c'est nécessaire. Dans l'industrie des semi-conducteurs, la mesure de l'épaisseur du silicium est essentielle en raison de la diffusion de la technologie des via à travers le silicium ; et dans l'industrie de la production de films, les couches d'adhérence sont de plus en plus minces pour répondre aux spécifications des produits. Ces industries exigent donc désormais une précision encore plus grande dans les mesures d'épaisseur allant de 1 μm à 300 μm. Le C12562 permet d'effectuer des mesures précises dans une large gamme d'épaisseurs allant de 500 nm à 300 μm, qui comprennent l'épaisseur du revêtement de la couche mince et du substrat de la couche ainsi que l'épaisseur totale. Le C12562 offre également des mesures rapides jusqu'à 100 Hz, ce qui le rend idéal pour les mesures sur les lignes de production à grande vitesse. Caractéristiques Mesures allant de l'épaisseur du film mince à l'épaisseur totale Réduction du temps de cycle (max. 100 Hz) Déclenchements externes améliorés (pour les mesures à grande vitesse) La mesure simplifiée est ajoutée au logiciel Capacité d'analyse de surface Mesure précise d'un film fluctuant Analyse des constantes optiques (n, k) Contrôle externe disponible Principe de mesure : interférométrie spectrale Des réflexions multiples se produisent à l'intérieur du film mince lorsque la lumière pénètre dans un échantillon de film mince. Ces ondes lumineuses à réflexions multiples se renforcent ou s'affaiblissent mutuellement en fonction de leur différence de phase. La différence de phase de chaque lumière à réflexions multiples est déterminée par la longueur d'onde de la lumière et la longueur du trajet optique. Par conséquent, le spectre réfléchi ou transmis par l'échantillon présente un spectre spécifique déterminé par l'épaisseur du film.