Machine de dépôt CVD DA600 PRO

Aperçu du produit
Le système de dépôt de diamant DA600PRO génère un champ de température uniforme grâce à des réseaux parallèles de filaments chauffants et une structure de refroidissement à eau en double couche, permettant la synthèse de films diamantés ultrananocristallins, nanocristallins et micrométriques sur de grandes surfaces et avec différentes épaisseurs. La conception des filaments réduit le taux de défaillance et améliore la stabilité ; le contrôle de la pression de la chambre limite les ruptures de filament. Une alimentation de chauffage puissante augmente la capacité de charge par lot sans compromettre les performances du revêtement. L'équipement prend en charge plusieurs types de substrats utilisés en outillage et applications industrielles. La variation d'épaisseur des films pour outils coupants est maîtrisée sous 15 %.

Avantages clés

• Distribution de température uniforme via des réseaux parallèles de filaments chauffants et un refroidissement à eau en double couche.
• Fonctionnement stable des filaments grâce à une structure optimisée et au contrôle de la pression de la chambre pour réduire les ruptures.
• Capacité de lot élevée rendue possible par une alimentation de chauffage de 40 kW.
• Uniformité de dépôt constante : variation d'épaisseur inférieure à 15 % pour les outils coupants.
• Prend en charge le procédé CVD à filament chaud pour une large gamme de substrats et d'outillages.

Applications

• Outils coupants (y compris fraises et outils de découpe PCB)
• Graphite et matériaux composites (CFRP)
• Substrats céramiques PCB et revêtements conducteurs
• Alliages AlSi (Si > 12 %)
• Outils pour le travail du bois et pièces à emmanchement/à surface plane

Paramètres du produit (tableau)
Modèle : DA600PRO
Zone effective de revêtement : 300 × 300 mm
Dimensions internes de la chambre : 2600 × 2100 × 700 mm³
Épaisseur de revêtement : 4–30 μm
Puissance de chauffage max. : 40 kW
Capacité (D3) : 600 pièces
Méthode de revêtement : Hot Filament CVD
Produits applicables : Outils de découpe PCB ; revêtements conducteurs ; outils à emmanchement ; revêtement de surfaces planes pour plaquettes et autres pièces

Caractéristiques / Spécifications techniques

• Modèle : DA600PRO
• Zone effective : 300 × 300 mm
• Dimensions internes : 2600 × 2100 × 700 mm³
• Volume de la chambre : 0,16 m³ (reporté)
• Plage d'épaisseur : 4–30 μm
• Puissance de chauffage maximale : 40 kW
• Capacité : 600 pièces par lot (D3); une section mentionne également jusqu'à 500 pièces
• Technologie de dépôt : Hot Filament Chemical Vapor Deposition (HFCVD)
• Uniformité d'épaisseur pour outils coupants : < 15 %
• Substrats adaptés : outils coupants, graphite, CFRP, substrats céramiques PCB, alliages AlSi (Si > 12 %), outils pour le bois, plaquettes et autres pièces à surface plane