Sonde de résistance Infinity Waveguide

Avec l'avènement des technologies Silicon CMOS et SiGe, les dispositifs deviennent de plus en plus petits et rapides. Les ingénieurs de test doivent valider les performances de leurs dispositifs jusqu'à 500 GHz et au-delà dans certains cas. Cette solution de sondage de composant/on-wafer est conçue pour répondre aux défis du sondage haute fréquence pour la modélisation et la caractérisation avancées on-wafer tout en fournissant une résistance de contact faible et stable sur des pads de 50 microns. À 500 GHz, le problème le plus difficile est celui des champs électriques autour de la sonde. La nouvelle conception de la pointe de contact GSG à membrane de la sonde Waveguide Infinity Probe réduit les champs EM parasites près de la pointe de la sonde. Le contrôle des champs EM près de la pointe permet des mesures répétables jusqu'à 500 GHz et une meilleure performance de diaphonie entre les pointes.