Système de stockage et manutention automatique EUV

Ces systèmes de manipulation des particules EUV de Fabmatics répondent aux exigences de fiabilité et de propreté dans la manipulation des particules EUV. En tant que technologie d'éclairage spéciale utilisée pour la fabrication d'éléments de construction microélectroniques haut de gamme, la technologie EUV fixe les normes les plus élevées en matière de fiabilité et de propreté lors de la manipulation des réticules EUV. Les solutions Fabmatics sont conformes à ces normes. Les systèmes de manipulation des réticules EUV sont disponibles en tant qu'appareils autonomes, par exemple comme trieurs de réticules, et en tant que modules avant l'équipement, par exemple comme systèmes de chargement. Un port de chargement Fabmatics pour les pods RSP et les pods doubles, une large gamme de modules de détection, de pinces et d'équipements de retournement sont des composants importants ici.