Jauge à vide Pirani BPG402

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BPG402 De l'ATM à la jauge à ultra-vide La jauge combinée INFICON Bayard-Alpert Pirani, BPG402-S, fonctionne comme deux jauges dans une seule unité compacte mesurant de 5×10-10 mbar à l'atmosphère (3,8×10-10 Torr à l'atmosphère). La combinaison des technologies réduit la complexité de l'installation, de la configuration et de l'intégration. Choisissez le BPG402-S avec deux filaments d'iridium recouverts d'oxyde d'yttrium pour des mesures de pression de base abordables et reproductibles dans un ensemble économique. Les éléments de détection avec les données d'étalonnage embarquées garantissent une grande reproductibilité lors du remplacement des capteurs. Avantages Plage de mesure extrêmement large, de 5×10-10 mbar à l'atmosphère (3,8×10-10 Torr à l'atmosphère) Excellente répétabilité dans la plage de pression de processus de 10-8 ... 10-2 mbar de 5% L'interlock Pirani protège le filament contre l'épuisement prématuré Deux filaments d'iridium revêtus d'oxyde d'yttrium de longue durée Des interfaces optionnelles d'affichage graphique et de bus de terrain sont disponibles Le réglage automatique du vide poussé Pirani réduit les interventions de l'opérateur L'élément de détection facile à échanger avec les données d'étalonnage embarquées garantit une grande reproductibilité Conformité à la directive RoHS Demandes typiques Mesure de la pression dans les chambres de traitement et de transfert des semi-conducteurs Revêtement industriel Mesure et contrôle du vide général dans la plage du vide faible à ultravide