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Groupe de dégazage LiquidLens™ LLD2

Groupe de dégazage - LiquidLens™ LLD2 - Entegris
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Description

LiquidLens™ LLD2 Système de dégazage UPW LLD2 Dégazage UPW pour scanners lithographiques à immersion Le système LiquidLens LLD2 assure la stabilité et la pureté de la lentille liquide en réduisant les gaz dissous et en contrôlant la qualité UPW Maintient en continu la température et le niveau de pression ciblés du flux de sortie UPW Assure la sécurité du processus et de la machine grâce à des alarmes de sécurité et des détecteurs de fuite Fournit une surveillance en temps réel des paramètres critiques sur l'outil et sur le système de surveillance central du client.

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Ceci est une traduction automatique  (voir l’original en anglais)

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