Logiciel de visualisation, d'analyse et de reporting de mesures dimensionnelles CorrMeas

CorrMeas est une plateforme logicielle puissante conçue pour rationaliser et automatiser les flux de travail en microscopie, de la navigation précise de l'étape à l'acquisition d'images multi-modalités, en passant par l'analyse et le reporting intelligents des images. Que vous travailliez avec des microscopes électroniques à balayage (SEM), de la microscopie optique ou que vous intégriez plusieurs modalités, CorrMeas vous aide à réduire les tâches manuelles, à augmenter le débit et à obtenir des résultats reproductibles, généralement à des coûts inférieurs à ceux des solutions comparables. - Imagerie synchronisée par coordonnées : Alignez et capturez automatiquement des images sur différents microscopes et sessions. - Contrôle de flux de travail visuel et tabulaire : Gérez les échantillons, les défauts et les paramètres d'imagerie avec des interfaces graphiques et tabulaires intuitives. - Traitement d'image automatisé : Appliquez des filtres personnalisés, normalisez les images et extrayez des mesures avec des scripts répétables. - Support intégré pour SEM, AFM et microscopie optique : Compatible avec les SEM ZEISS et d'autres microscopes pour un fonctionnement sans faille. CorrMeas est un logiciel d'inspection de plaquettes. Les domaines d'application typiques sont : - Revue de défauts automatisée ou semi-manuelle - Mesures de dimensions critiques automatisées - Navigation sur plaquettes Éprouvé et approuvé par les leaders de l'industrie CorrMeas permet l'automatisation avancée de la microscopie depuis plus d'une décennie. Initialement commercialisé uniquement via le réseau de vente ZEISS, il a été déployé avec succès dans de nombreux laboratoires d'analyse industrielle, en particulier dans le secteur des semi-conducteurs. Développé à l'origine avec un accent sur la revue des défauts, CorrMeas a rapidement évolué avec un large éventail de fonctionnalités pour soutenir les mesures de dimensions critiques et la création de flux de travail intuitifs - même sans compétences en programmation. CorrMeas a été conçu pour répondre aux besoins exigeants des environnements industriels - où la fiabilité, la vitesse, la précision et la capacité à s'adapter à chaque configuration locale sont essentielles. Navigation visuelle et contrôle des coordonnées CorrMeas offre une vue graphique et tabulaire combinée de toutes les positions d'échantillons et des images acquises. Avec des images de fond, des fichiers GDS ou KLARF, les utilisateurs peuvent naviguer dans les échantillons de manière précise et intuitive. - Superposition SEM en direct avec suivi du réticule - Alignement des coordonnées manuel ou automatisé - Ciblage et étiquetage des défauts en un clic Acquisition d'images et intégration de dispositifs CorrMeas prend en charge tous les microscopes électroniques à balayage ZEISS et les microscopes optiques ZEISS Axio Imager, ScanTool pour AFM (DME), et toutes les sources d'images DirectShow ou Windows Media Foundation avec des étapes motorisées. Il automatise l'imagerie, la mise au point, le mouvement de l'étape avec une haute précision et prend en charge la recherche automatique de position. - Contrôle des microscopes AFM, SEM et optiques, support API complet pour les SEM ZEISS - Intégration de la vue en direct et superpositions d'images - Support pour l'importation de fichiers KLARF - Mise au point automatique et réglage du stigmateur hautement fiables pour SEM - Positionnement automatique utilisant des images de référence ou des formes de fichiers GDS - Le système vous permet d'enregistrer de manière interactive les étapes d'automatisation Traitement et analyse d'images Le concepteur de filtres d'images intégré prend en charge les mesures automatisées telles que la largeur des caractéristiques, la rugosité des bords de ligne ou la détection de formes via des pipelines de filtrage interactifs. - Détection des bords, seuillage, détection de zone - Évaluation automatisée de la largeur et de la rugosité des lignes - Générateur de scripts pour l'intégration de l'automatisation - Test de vos filtres sur l'image en direct Extensions matérielles CorrMeas peut être combiné avec des extensions matérielles spécialisées pour permettre des flux de travail d'automatisation avancés. Cela inclut des modules robotiques pour le chargement d'échantillons entièrement automatisé, le positionnement et le transfert entre les systèmes d'imagerie. L'architecture flexible permet l'intégration avec des unités de contrôle tierces, ce qui rend CorrMeas idéal pour l'automatisation personnalisée dans des environnements à haut débit ou sans surveillance. Des modules d'automatisation standard tels que les interfaces de sas sont disponibles, mais dans la plupart des cas, des conceptions personnalisées sont nécessaires en fonction du type d'échantillon, du format de conteneur et du processus de mesure. En plus du logiciel, des composants matériels spécialement conçus pour les besoins d'automatisation avancés sont également proposés. Distribution Le logiciel est distribué sous forme d'exécutable autonome léger, éliminant le besoin d'installations logicielles volumineuses ou de dépendances externes. Ce design épuré assure une stabilité et une résilience exceptionnelles face aux mises à jour système ou de pilotes - un avantage clé dans les environnements de microscopie industrielle. CorrMeas est livré avec un support de démarrage complet et une formation sur mesure pour vous rendre productif dès le premier jour. CorrMeas prend en charge les systèmes de microscope de divers fabricants, assurant une compatibilité et une flexibilité larges. Grâce à la coopération étroite entre ZEISS Microscopy et DoubleFox, des scénarios d'automatisation plus avancés et complexes peuvent être efficacement abordés sur les plateformes ZEISS. CorrMeas est disponible soit directement auprès de DoubleFox, soit par l'intermédiaire de représentants locaux ZEISS.