Générateur de plasma de laboratoire Bell Jar 35

On donne le nom de chambre à la chambre à plasma ou au récipient dans lequel se trouve le gaz de traitement en basse pression. La chambre est conçue en tant que réservoir sous pression. Elle se compose d'un matériau ne pouvant pas être gravé par les gaz de traitements utilisés et est très fréquemment réalisée en acier inoxydable. Certains processus impliquent la présence d'un récipient en verre de quartz extrêmement pur. En version standard, les chambres (récipients) sont en acier inoxydable Sur l'installation de recherche Bell Jar, la chambre à plasma est une cloche en verre de quartz de haute pureté