Lentille en verre ULE®

en siliconeUVpour l'optique

Le verre Corning® ULE® (Ultra-Low Expansion Glass) 7972 est un verre titane-silicate dont les caractéristiques de dilatation sont proches de zéro, ce qui en a fait le matériau de choix pour des applications uniques telles que les blocs de référence de machines-outils, les grilles, les blocs de référence, les miroirs de référence d'interféromètres et les miroirs de télescopes. L'ULE est un liquide monophasé, surfondu, dont l'ECT est très proche de 0 ppb/K. EUV ULE 7973 a été conçu pour répondre aux besoins en matière de masques et de substrats optiques pour les applications EUVL. La transition de la lithographie de 193nm à 13,4nm a nécessité un changement majeur dans la conception des optiques pas à pas, passant de la réfraction à la réflexion. Dans l'optique réflective, les matériaux du substrat doivent être purement passifs. La lumière incidente doit se refléter sur les revêtements multicouches de l'optique et du masque photographique sans introduire de distorsion mécanique ou optique causée par le substrat sous-jacent. Pour minimiser les distorsions dues aux infimes variations de température et répondre aux spécifications strictes de l'EUVL, les substrats doivent avoir un coefficient de dilatation thermique (CTE) proche de zéro et de faibles variations de CTE de pic à creux (P-V). Les exigences en matière de CTE extrêmement bas sont spécifiées en parties par milliard par degré kelvin (ppb/K). Les exigences élevées en matière d'ERC imposent également des améliorations dans le domaine de la métrologie et Corning continue d'améliorer les méthodes de métrologie pour répondre aux exigences de l'EUVL. Il est possible d'adapter discrètement la température de passage à zéro. Le verre à faible dilatation TSGTM 7972 est le troisième membre de la famille des verres à faible dilatation à base de silicate de titane de Corning. Le TSG a un coefficient absolu de dilatation thermique (CTE) assoupli pour les applications qui ne nécessitent pas un matériau à dilatation quasi nulle.