Régulateur de débit électronique CFC

à pression différentielleen boucle ferméepour gaz

Le contrôleur de débit Cordis utilise un capteur de technologie MEMS à réaction extrêmement rapide en amont de la vanne proportionnelle Clippard. Contrairement aux autres régulateurs de débit massique, le régulateur de débit Cordis nécessite moins d'une minute de préchauffage, présente une chute de pression ≤14" H2O et comprend des gammes de débit aussi basses que 0 à 30 sccm. Les options de contrôle standard comprennent 0,2 à 10 VDC, 4,32 à 20 mA et 3,3 VDC en série. Boîtier IP65 disponible pour les applications industrielles légères caractéristiques et avantages rapport de réduction de 50:1 Taille et poids compacts perte de charge ≤14" H2O temps de chauffe <1 minute Plusieurs gammes de faibles débits temps de réponse <50 ms résolution ≤25 mV Régulateur intégré en option