Platine XYZ XYZ200Mpiézoélectrique3 axes
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Caractéristiques
- Orientation
- XYZ
- Type
- piézoélectrique
- Nombre d'axes
- 3 axes
- Course
Max: 180 µm
Min: 0 µm
Description
Description
L'étape piézoélectrique XYZ200M est basée sur des déclencheurs d'APA 200M et possède une rigidité. Les applications incluent la microscopie confocal, masque plaçant, inspection
Options disponibles
Les jauges de contrainte ; Eddy Current Sensors, vide
Statut
Norme
---
Catalogues
XY Piezo stages heritage
8 Pages
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Actionneurs piézo > Mécanismes
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