Réchauffeur d'eau PUR-X 2000

d'airà circulationantidéflagrant

APPLICATIONS : Procédés de nettoyage de plaquettes de semi-conducteurs (Wet Bench) Chauffage des solvants d'élimination de la photorésistance Chauffage de l'eau DI pour le rinçage des wafers Chauffage de l'air et de l'azote pour le séchage des wafers Chauffage d'acides, IPA, Piranha, NMP, etc. Pour une utilisation avec des systèmes à passage unique ou à recirculation CARACTÉRISTIQUES ET AVANTAGES : Le trajet du fluide n'a aucun contact avec les éléments chauffants Le fluide est isolé dans un tube d'écoulement en PFA (Teflon®) (chauffage de haute pureté) Permet de chauffer en toute sécurité des liquides et des gaz dangereux Le tube d'écoulement peut être utilisé en toute sécurité avec de nombreux solvants caustiques Le tube d'écoulement est remplaçable sur place (aucun appel de service n'est nécessaire) Compatible avec les commandes standard (PID, PLC, Multi-Loop, etc.) Le corps est revêtu de Téflon®, pour une propreté maximale Tubes d'écoulement auto-vidangeables et éléments chauffants à longue durée de vie SPÉCIFICATIONS : Puissance : 5 kW total à 7,9 kW total Plage de tension : 200 - 480 V Courant de ligne maximum : 30 A par circuit Tubes : .375" OD (3/8") (9,52 mm) .031" Paroi (.80 mm) Longueur totale du tube de traitement : 8255 mm (325") PFA (PerFluoroAlkoxy) / Teflon® (standard) PFA haute pureté (option) Pression maximale : 4,82 bar (70 psi) Corps : Aluminium avec revêtement de protection en Teflon® noir Boîtiers : NEMA 7 (antidéflagrant) Température maximale de fonctionnement : 200°C (392°F) Capteurs : Thermocouples de type K ou J Standard (Qté. 3) 1 pour le contrôle du processus 1 pour la protection contre les limites élevées 1 pour la protection de la température du tube Accessoires disponibles : Gaines isolantes Raccords de compression