Conception de vis avancée :
Conception en forme de cloche, vis à équilibrage automatique brevetées
Efficace :
Faible consommation d’énergie, maintenance réduite au minimum, faibles coûts d’exploitation, temps de fonctionnement élevé
Fiable :
Fiabilité opérationnelle
Modulable :
Solution orientée vers les applications
Fonctionnement silencieux :
Niveau sonore < 58 dB(A)
Conception compacte
La COBRA BC 0100/0200 F est une pompe à vis sèche de la gamme reconnue des COBRA BC. La technologie de pointe des pompes à vide sèches avec leur profil de vis spécial et leur conception compacte en font la solution idéale pour les sas de chargement et les chambres de transfert, ainsi que pour les processus de métrologie, de lithographie, de dépôt physique en phase vapeur et de recuit thermique rapide.
Grâce à la conception complexe en porteà- faux de sa structure en forme de cloche, le double rotor doté de vis à pas variable est monté uniquement côté moteur, et la conception unique de palier volant rend inutiles les roulements d’entrée. Par conséquent, le mélange pompé n’entre pas en contact avec les roulements. Cela permet de garantir une génération de vide propre et une récupération complète des gaz pompés. Le cheminement direct des gaz entre l’aspiration et l’échappement évite les dépôts dans les recoins et garantit qu'il n’y a pas de dépôts à l'intérieur de la chambre de compression.
La conception brevetée de la vis auto-équilibrée et du rotor à vis monté précisément à son centre de gravité, assurent d’excellentes qualités de fonctionnement, tout en garantissant un haut niveau de disponibilité.