Les modèles COBRA BC 1000 F et BC 2000 F sont deux pompes à vis sèches de la célèbre série COBRA BC. Leur vitesse de pompage rapide et leur haute capacité d’aspiration en Hydrogène en font des pompes idéales pour tous les processus exigeants dans la fabrication de cellules photovoltaïques, d'écrans plats et de semi-conducteurs. La technologie des pompes à vide COBRA est une technologie sans huile et sans contact, permettant d'évacuer des fluides poudreux et chargés de particules.
Les modèles COBRA BC 1000 F et BC 2000 F intègrent une pompe Roots, garantissant de meilleures vitesses de pompage et de pressions finales. La pompe primaire et la pompe Roots sont combinées sur un châssis de base compact.
Les pompes COBRA BC 1000 F et BC 2000 F sont équipées d'un moteur à haute efficacité incluant un mode veille, ce qui garantit un potentiel d'économie énergétique optimal.
Leur construction compacte requiert très peu d'espace et leurs besoins énergétiques extrêmement faibles permettent des coûts de fonctionnement minimum. La longue durée de vie utile des pompes à vide COBRA BC réduit davantage encore le coût total. L’intégration de ces pompes à vide sèches dans une installation existante est simple et rapide à réaliser.
Applications
Dépôt chimique en phase vapeur au plasma à haute densité
(HDP CVD)
Traitement thermique rapide (RTP)
Dépôt chimique en phase vapeur à pression sub-atmosphérique
(SACVD)
Dépôt chimique en phase vapeur d'organométalliques (MOCVD)
Dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD)
Dépôt chimique en phase vapeur à basse pression (LPCVD)
Dépôt de couches atomiques (ALD)
Sas de chargement de grande capacité