Pompe à vide à vis COBRA BC 1000 F
sècheplasmacompacte

pompe à vide à vis
pompe à vide à vis
Ajouter à mes favoris
Ajouter au comparateur
 

Caractéristiques

Technologie
à vis
Lubrification
sèche
Application
plasma
Autres caractéristiques
compacte
Vide limite

0 mbar
(0 psi)

Débit

930 m³/h
(32 842,64 ft³/h)

Description

Les modèles COBRA BC 1000 F et BC 2000 F sont deux pompes à vis sèches de la célèbre série COBRA BC. Leur vitesse de pompage rapide et leur haute capacité d’aspiration en Hydrogène en font des pompes idéales pour tous les processus exigeants dans la fabrication de cellules photovoltaïques, d'écrans plats et de semi-conducteurs. La technologie des pompes à vide COBRA est une technologie sans huile et sans contact, permettant d'évacuer des fluides poudreux et chargés de particules. Les modèles COBRA BC 1000 F et BC 2000 F intègrent une pompe Roots, garantissant de meilleures vitesses de pompage et de pressions finales. La pompe primaire et la pompe Roots sont combinées sur un châssis de base compact. Les pompes COBRA BC 1000 F et BC 2000 F sont équipées d'un moteur à haute efficacité incluant un mode veille, ce qui garantit un potentiel d'économie énergétique optimal. Leur construction compacte requiert très peu d'espace et leurs besoins énergétiques extrêmement faibles permettent des coûts de fonctionnement minimum. La longue durée de vie utile des pompes à vide COBRA BC réduit davantage encore le coût total. L’intégration de ces pompes à vide sèches dans une installation existante est simple et rapide à réaliser. Applications Dépôt chimique en phase vapeur au plasma à haute densité (HDP CVD) Traitement thermique rapide (RTP) Dépôt chimique en phase vapeur à pression sub-atmosphérique (SACVD) Dépôt chimique en phase vapeur d'organométalliques (MOCVD) Dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD) Dépôt chimique en phase vapeur à basse pression (LPCVD) Dépôt de couches atomiques (ALD) Sas de chargement de grande capacité

Catalogues

Aucun catalogue n’est disponible pour ce produit.

Voir tous les catalogues de Busch Vacuum Solutions

Salons

Rencontrez ce fournisseur au(x) salon(s) suivant(s)

Hannover 2024
Hannover 2024

22-26 avr. 2024 Hannover (Allemagne) Hall 13 - Stand E12

  • Plus d'informations
    IFAT 2024
    IFAT 2024

    13-17 mai 2024 München (Allemagne) Hall Vide - Stand B2.127/226

  • Plus d'informations
    * Les prix s'entendent hors taxe, hors frais de livraison, hors droits de douane, et ne comprennent pas l'ensemble des coûts supplémentaires liés aux options d'installation ou de mise en service. Les prix sont donnés à titre indicatif et peuvent évoluer en fonction des pays, des cours des matières premières et des taux de change.