Machine de dépôt PVD NESSY series

par pulvérisation cathodique à magnétronde couches mincessous vide

La série NESSY est un système de pulvérisation magnétron de dernière génération de Bühler Leybold Optics. Il est dédié à la production de revêtements de miroirs ultraviolets extrêmes (EUV) dans des conditions d'ultra-vide poussé (UHV) et est conçu pour la production en série ainsi que pour le développement de nouveaux produits. Les enducteurs NESSY peuvent être équipés de jusqu'à six cathodes de pulvérisation rectangulaires différentes et peuvent utiliser du molybdène et du silicium, ainsi que d'autres matériaux qui sont essentiels pour obtenir un revêtement miroir complet. Ainsi, une pile de revêtement complète peut être réalisée en un seul cycle. Des applications révolutionnaires avec une coucheuse adaptée à l'avenir Les miroirs multicouches en molybdène-silicium avec une réflectance maximale à une longueur d'onde de 13,5 nm sont devenus un classique de la technologie de réflexion. Ces miroirs sont indispensables comme miroirs de condenseur ou de projecteur dans les équipements de lithographie de nouvelle génération En plus de la lithographie EUV, les miroirs brouilleurs multicouches peuvent être utilisés dans les appareils de mesure des rayons X, les optiques à rayonnement synchrotron et d'autres applications scientifiques sophistiquées. La grande variété de substrats complexes fait de NESSY le choix idéal pour le développement de nouvelles applications et de nouveaux composants.