Instrument de caractérisation TriboLab CMP

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Description

Polishing Process Control for Process Development and Materials Testing Le TriboLab CMP offre une caractérisation bancaire fiable, souple et rentable des processus de polissage des plaquettes, offrant des diagnostics embarqués et une flexibilité dans le type d'échantillon, la taille et le montage pour une meilleure compréhension des applications CMP. Reproduit des conditions de processus de polissage de plaquettes à grande échelle sans temps d'arrêt sur l'équipement de production Fournit une répétabilité et un détail de mesure inégalés Permet d'effectuer des tests sur de petits coupons pour des économies substantielles sur les tests de plaquettes entières La norme pour les laboratoires d'essais mécaniques Profitant de plus de 20 ans d'expertise en caractérisation CMP avec son produit précédent (Bruker CP-4), TriboLab CMP apporte un ensemble complet de fonctionnalités à la plate-forme TriboLab ™ leader dans l'industrie. TriboLab CMP est le seul outil de développement de processus sur le marché qui peut fournir une large gamme de pressions de polissage (0.05 - 50 psi), vitesses (1 à 500 tr / min), frottement, émissions acoustiques et mesures de température de surface pour une caractérisation précise des processus CMP Et les consommables. Diagnostic à bord pour une meilleure compréhension des procédés de polissage Offre plus de visibilité sur les propriétés de polissage transitoires que tout autre système sur le marché Collecte des données à partir de l'instant où le substrat touche le tampon et pendant tout le test Permet des décisions de développement de processus précoces grâce à des données plus complètes et détaillées

Catalogues

CP-4
CP-4
2 Pages
* Les prix s'entendent hors taxe, hors frais de livraison, hors droits de douane, et ne comprennent pas l'ensemble des coûts supplémentaires liés aux options d'installation ou de mise en service. Les prix sont donnés à titre indicatif et peuvent évoluer en fonction des pays, des cours des matières premières et des taux de change.