Le Dimension FastScan Pro offre la vitesse et les performances métrologiques les plus élevées de tous les AFM industriels disponibles aujourd'hui. Le système permet des mesures automatisées ou semi-automatisées tout en garantissant la plus grande facilité d'utilisation et le plus faible coût par mesure pour le contrôle qualité, l'assurance qualité et l'analyse des défaillances.
Propriétaire
Technologie de production AFM
Permet une caractérisation des surfaces à la pointe de l'industrie.
Un service et une assistance inégalés
service et support
Réduit les coûts grâce à l'efficacité opérationnelle.
Automatisé
Scanner AFM
Fournit un flux de mesure fiable et continu.
Polyvalence de la production
FastScan Pro utilise une plateforme à accès ouvert, des porte-échantillons de grande taille ou multiples et de nombreuses fonctions de facilité d'utilisation pour fournir une métrologie nanométrique flexible et performante pour les applications industrielles d'AQ, de CQ et de FA. Le système fournit des mesures automatisées de plaquettes de 2 à 12 pouces pour les semi, le stockage de données et les HB-LED. Il présente une course d'échantillon XY accrue pour un accès complet à des plaquettes de 200 mm ou à des échantillons multiples dans une zone de 200 mm de diamètre, avec des mandrins en option pour les plaquettes de 300 mm. Le système offre également le choix entre un scanner FastScan 5-10x à haut débit pour la topographie, la rugosité et d'autres analyses métrologiques, ou un scanner Icon avec une plage de balayage de 90 µm pour des balayages plus larges et des performances de topographie de haute précision.
Puissant logiciel d'automatisation
Le logiciel à recette complète AutoMET™ offre une métrologie rapide et automatisée, un fonctionnement simple et une adaptabilité AFM pour une saisie facile des mesures critiques pour la qualité nécessaires en production. Ce logiciel permet des mesures automatisées sur plusieurs échantillons ou un seul grand échantillon pour la caractérisation à l'échelle nanométrique sur plusieurs sites.
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