Vaporisateur VDM300

La plus grande précision de débit pour la distribution de vapeur d'eau déionisée (DI) de très haute pureté. Le module de distribution de vapeur (VDM) de Brooks Instrument est un module autonome de haute performance pour la distribution très précise de vapeur d'eau déionisée (DI) de très haute pureté. Il est doté d'une conception à faible consommation d'énergie qui permet la production de vapeur à basse température et de très grande pureté. Il utilise une technique éprouvée de distribution de vapeur et la combine avec un contrôle numérique avancé et des fonctions de diagnostic intégrées dans un petit boîtier pratique. Conçu pour les procédés avancés de passivation des bandes et des métaux après gravure, le VDM offre une meilleure précision, des débits plus élevés, une plage de contrôle plus large et une consommation d'énergie plus faible par rapport aux systèmes d'évaporation flash. Basé sur des techniques éprouvées de mesure du débit massique thermique, le VDM produit de la vapeur non surchauffée, réduisant ainsi les effets agressifs de l'eau déionisée, pour une fiabilité accrue et un fonctionnement plus propre. La VDM offre des fonctions conviviales d'enregistrement des données et de diagnostic via un port de service indépendant et une interface utilisateur graphique intuitive. Caractéristiques - Plage de débit : 3 slpm (vapeur DIW) - Mesure directe de la vapeur d'eau avec une précision de débit supérieure - Se raccorde directement à l'alimentation en eau déminéralisée de la maison - Fonctionne à des températures plus basses (état non surchauffé) - Conception optimisée pour le rinçage et la vidange - Communications numériques EtherCAT - Interface utilisateur graphique BEST (Brooks Expert Support Tool) Avantages - Utilise une technique éprouvée et fiable de mesure et de contrôle du débit massique thermique - Grande tolérance à la variation de la pression d'alimentation en eau de fabrication DI Amélioration de la résistance à la corrosion dans le chemin mouillé Assure un fonctionnement plus propre