Machine de polissage pour métaux POLI-762

de précisionà table rotativemécanique

POLI-762 est une petite machine de polissage chimique et mécanique de 12 pouces, qui adopte une méthode de chargement manuel, peut être équipée en option d'une palette de chargement semi-automatique, utilise un airbag à membrane pour augmenter la pression de manière flexible, et peut être équipée d'un système de contrôle de la force de friction et de la température, utilisé pour le polissage de planarisation des oxydes, métaux, STI, SOI, MEMS et autres produits. Les applications sont vastes. Fonctions complètes Mise en place d'une contre-pression de la membrane sur le wafer, le plateau de polissage est équipé d'un système de refroidissement intégré. Le dresseur à bras pivotant, la fonction de surveillance du point final de détection de la friction et de la température et le système de pressurisation sur différentes zones sont en option. Opération simple Système de contrôle par PC, contrôle par écran tactile, palette de chargement semi-automatique en option, polissage CMP automatique par un seul bouton. Bonne compatibilité 3 pipelines d'alimentation indépendants, plaque de polissage facile à remplacer, tête de polissage remplaçable de 4, 6, 8 et 12 pouces, compatible avec différents types et tailles de plaquettes. Faible encombrement au sol Réduit au minimum l'espace au sol de la salle blanche.