Jauge à vide capacitive à membrane SPG
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jauge à vide capacitive à membrane
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Caractéristiques

Technologie
capacitive à membrane
Affichage
numérique, analogique, sans affichage
Autres caractéristiques
résistante aux produits chimiques
Plage de vide

Min: 0 Pa
(0 psi)

Max: 100 000 Pa
(14,503773773 psi)

Description

Le SPG5A-6A est un vacuomètre à membrane capacitive qui utilise un capteur de pression capacitif en saphir pour obtenir une grande précision et fiabilité, une taille compacte et un poids léger. Des modèles auto-chauffants et non auto-chauffants sont disponibles. Le SPG5A/6A est particulièrement adapté à la fabrication de semi-conducteurs. Caractéristiques * - Utilise un saphir monocristallin pour une excellente résistance à la corrosion et aux températures élevées Le saphir monocristallin hautement résistant à la corrosion et à la chaleur pour les capteurs de pression possède également d'excellentes caractéristiques mécaniques. La mesure capacitive a une grande répétabilité même lorsqu'elle est utilisée à haute température * - Une mesure très précise La technologie avancée de traitement des signaux contribue à l'obtention d'excellentes caractéristiques de température et à la linéarité des mesures * - Compact et léger Petite taille et poids léger, grâce à la technologie de micro-usinage * - Temps de préchauffage rapide et contrôle stable de la température du capteur Le contrôle PID numérique par microprocesseur permet un réchauffement rapide et une température stable des capteurs (modèles auto-chauffants).

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* Les prix s'entendent hors taxe, hors frais de livraison, hors droits de douane, et ne comprennent pas l'ensemble des coûts supplémentaires liés aux options d'installation ou de mise en service. Les prix sont donnés à titre indicatif et peuvent évoluer en fonction des pays, des cours des matières premières et des taux de change.