Régulateur de débit proportionnel MC

à pression différentiellemassiquepour gaz

Présentation
Contrôleurs de débit massique rapides utilisant la technologie de mesure par différence de pression en régime laminaire (DP) pour la mesure et le contrôle automatisés des gaz. Conçus pour les process industriels et les applications de recherche, avec de larges options d'échelle de débit et de pression, plusieurs variantes par série et de nombreuses options de communication et de configuration.

Caractéristiques clés

• Technologie de mesure du débit massique par DP laminaire (différentiel de pression)
• Mesure du débit massique, du débit volumique, de la température et de la pression
• 98–130 calibrations gaz préchargées (selon la série)
• Temps de réponse de contrôle très rapide, dès 30 ms
• Plage de mesure et de contrôle jusqu'à 0,01% – 100% (démarrage 10 000:1) pour certaines variantes
• Plages de pression de fonctionnement de vide faible à options haute pression selon la série
• Garantie limitée à vie

Performances principales

• Plages d'échelle pleine : 0,5 SCCM – 12 000 SLPM (dépend de la série et du modèle)
• Plage de pression de fonctionnement (exemples) : 11,5 – 160 PSIA (MC typique), jusqu'à 320 PSIA pour les variantes haute pression
• Exemples de précision : aussi précis que ±0,5 % de la lecture ou ±0,1 % de l'échelle complète (la valeur la plus élevée est retenue) pour le MC standard ; variantes résistantes à la corrosion atteignant ±0,4 % de la lecture et ±0,2 % de l'échelle complète
• Réponse de contrôle : aussi rapide que 30 ms (certaines variantes haute pression 100 ms)

Séries disponibles et usages

• MC Series — contrôleurs DP laminaire polyvalents ; commande proportionnelle rapide ; larges options de débit (0,5 SCCM – 12 000 SLPM)
• MCS Series — contrôleurs résistants à la corrosion avec matériaux mouillés réduits ; jusqu'à ~130 calibrations gaz préchargées ; exemples de précision ±0,4 % lecture / ±0,2 % échelle complète
• MCQ Series — contrôleurs haute pression pour procédés à pression supérieure ; tolérances et performances adaptées
• BIOC Series — contrôleurs pour bioréacteurs et fermenteurs ; conformité ASME BPE, stabilité long terme, matériaux conformes (y compris élastomères USP Classe VI) et conçus pour la montée en charge (plage d'exploitation 10 000:1)
• MCD Series — contrôleurs massiques bidirectionnels avec deux vannes pour contrôler le flux dans deux sens
• MCT Series — appareils basculant entre deux sources de gaz (deux sources, un appareil)
• MCW / MCWD — MFC DP laminaire à faible perte de charge
• SFF / MCV — options pour pression de vide et empreinte SEMI
• IS‑Max — MFC intrinsèquement sûrs pour atmosphères explosives

Options de construction et sélections
Protocoles de communication : RS-232 série (par défaut) ; RS-485 série ; analogique (4–20 mA, 0–10 Vcc, 0–5 Vcc ou 1–5 Vcc) ; Modbus RTU (sur RS-232 ou RS-485) ; Modbus TCP/IP ; DeviceNet ; EtherCAT ; EtherNet/IP ; PROFIBUS ; PROFINET ; IO-Link
Afficheurs : monochrome rétroéclairé (par défaut) ou TFT couleur ; intégré ou pour panneau ; aucun
Raccords de process : 10-32, NPT, SAE, BSPP, VCRM, VCO, raccords à compression (selon modèle)
Protection ingress : IP40 (par défaut) ; options IP66, IP67
Classements atmosphères dangereuses : options pour CSA Classe 1 Div 2 et ATEX Zone 2 (selon série/option)
Gaz humides : compensation d'humidité relative disponible
Technologie de mesure : détection par différence de pression en régime laminaire (DP) avec correction température/pression

Familles de fiches techniques / groupes modèles

• Gamme MC (groupes pleine échelle bas/milieu/haut couvrant 0,5–12 000 SLPM selon l'échelle)
• Fiches MCS couvrant les options résistantes à la corrosion et leurs plages
• Fiches MCQ couvrant les options contrôleurs haute pression
• Fiches BIOC couvrant les plages et la conformité pour bioréacteurs/fermenteurs

Remarques supplémentaires
De nombreux instruments de la série MC sont disponibles avec des options de construction pour zones dangereuses, différentes options d'affichage et de connecteur, et une large gamme de protocoles de communication et de raccords. Les instruments sont fabriqués sur commande avec choix de calibrations et d'options de précision.

Spécifications techniques

• Méthode de mesure : DP laminaire avec correction température et pression
• Grandeurs mesurées : débit massique, débit volumique, température, pression
• Plages d'échelle pleine : 0,5 SCCM – 12 000 SLPM (selon modèle)
• Exemples de plages listées : 0,5 SCCM, 1 SCCM, 2 SCCM, 5 SCCM, 10 SCCM, 20 SCCM, 50 SCCM, 100 SCCM, 200 SCCM, 500 SCCM, 1 SLPM, 2 SLPM, 5 SLPM, 10 SLPM, 20 SLPM, 50 SLPM, 100 SLPM, 250 SLPM, 500 SLPM, 1 000 SLPM, etc.
• Pression de fonctionnement : MC typique 11,5 – 160 PSIA ; MCQ jusqu'à 320 PSIA (selon variante)
• Précision : jusqu'à ±0,4%–±0,6% de la lecture ou ±0,1%–0,2% de l'échelle complète selon série et calibration
• Plage de contrôle / turndown : jusqu'à 10 000:1 pour certaines variantes MC/BIOC ; autres 200:1 ou 1–100% selon la série
• Réponse de contrôle : aussi rapide que 30 ms ; certaines variantes haute pression ~100 ms
• Calibrations gaz préchargées : de plusieurs dizaines à plus d'une centaine (ex. 98–130 selon la série)
• Affichages : monochrome rétroéclairé ou TFT couleur, intégré ou pour panneau, ou sans affichage
• Communications : analogique, RS-232, RS-485, Modbus RTU, Modbus TCP/IP, DeviceNet, EtherCAT, EtherNet/IP, PROFIBUS, PROFINET, IO-Link
• Raccords de process : 10-32, NPT, SAE, BSPP, VCRM, VCO, Compression (selon modèle)
• Options IP : IP40 par défaut ; IP66 / IP67 en option
• Option zone dangereuse : build -X pour CSA Class 1 Division 2 / ATEX Zone 2 ; série IS-Max intrinsèquement sûre disponible pour zones plus dangereuses