Alimentation électrique benchtop Trek series

DCajustableavec protection contre les surintensités

Présentation Les alimentations Trek pour e‑chuck (electrostatic chuck) d'Advanced Energy offrent un contrôle précis de la tension de serrage, de la tension de compensation et du décalage de polarisation DC, associé à des seuils configurables pour over‑current, wafer‑present et wafer‑clamped. Les séquences personnalisées de clamp/de‑clamp et les formes d'onde programmables optimisent le comportement de serrage pour réduire le phénomène de collage et de soulèvement des wafers, améliorant ainsi le débit et la rendement en production de semi‑conducteurs.

Statut du produit Active

Principales caractéristiques

• Seuils surveillés : over‑current, wafer‑present et wafer‑clamped
• Tensions réglables : tension de serrage et tension d'offset
• Contrôle de polarisation DC : interne ou externe
• Séquences configurables : clamp/de‑clamp personnalisables et formes d'onde programmables
• Conçu pour prévenir le collage des wafers et le wafer‑popping
• Améliore le débit, réduit les dommages aux wafers et augmente la rendement

Documentation technique (sélection)

• Trek 645 Fiche technique — Fiche technique — PDF — 111 KB — 6 février 2024
• Trek 645‑HT Fiche technique — Fiche technique — PDF — 163 KB — 11 décembre 2025
• Trek 646 Fiche technique — Fiche technique — PDF — 116 KB — 18 février 2024
• Electrostatic Semiconductor Wafer Clamping/Chucking System (ESC) Application Note — Note d'application — PDF — 607 KB — 15 juin 2023

Applications Conçu pour les procédés de fabrication de semi‑conducteurs nécessitant un contrôle fiable de l'alimentation des electrostatic chucks : dépôt, gravure, implantation et inspection par faisceau d'électrons.

Caractéristiques techniques

• Paramètres de contrôle : over‑current, détection wafer‑present, seuils wafer‑clamped
• Commandes de tension : tensions de clamp et d'offset ajustables
• Contrôle de polarisation : contrôle DC‑bias interne ou externe
• Contrôle de séquence : séquences clamp/de‑clamp configurables et formes d'onde programmables
• Avantages clés : réduit les dommages aux wafers, empêche le collage et le popping, améliore la rendement et le débit
• Modèles référencés : Trek 645, Trek 645‑HT, Trek 646