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Répétabilité: 0,005 µm - 4,4 µm
Charge: 5 kg - 25 kg
Course: 100 mm - 365 mm
... système de positionnement à 8 axes / goniomètre Personnalisable - Inspection automatisée à 8 axes sous différents angles - Système de rotation coaxial qui fait pivoter les caméras, les ...
... une précision élevée sur leurs systèmes de positionnement à double tourillon à 3 axes (positionneur H). L'utilisation d'un servoréducteur MIDs TR Series avec une capacité ...
Répétabilité: 1,5, 2,5 µm
... Double axe linéaire XY pour le réglage de haute précision de deux optiques pour les steppers de wafers | exposition ultra-fine aux UV en salle blanche - Assemblages de précision Réglage de haute précision de deux optiques Cet ...
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