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Course: 500 mm
Répétabilité: 0,05 µm
... Répétabilité : 50 nm
Course: 100, 200, 300 mm
Vitesse: 5 mm/s
Répétabilité: 0,015 µm - 0,02 µm
... d'installation dans la chambre - Version pour salle blanche ISO 14644-1 (jusqu'à la classe 1 sur demande) - En option avec le contrôleur FMC400/450 Positionnement nanométrique horizontal et vertical Cet axe linéaire à vide est adapté ...
Steinmeyer Mechatronik GmbH
Course: 10 mm
Vitesse: 5 mm/s
... demande) - En option avec contrôleur FMC400/450 Stabilité maximale dans la gamme nanométrique, même en fonctionnement à sec Le système de positionnement avec ouverture pour la lumière transmise a été combiné à partir de deux platines ...
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