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... couches protectrices et des techniques de finition pour les nouveaux matériaux. Hitachi High-Tech a mis au point le système de gravure sur conducteur de la série 9000 pour prendre en charge ces processus ...
... Le système de gravure de conducteurs de la série M-8000 est utilisé pour la gravure de masque dur et de silicium pour 32 nm et au-delà. Hitachi High-Tech a développé de nouveaux flux ...
... - La vitesse de gravure peut être réglée à la hausse ou à la baisse - Porte-gaufrettes rotatif et inclinable. - De nombreux types de mandrins peuvent être sélectionnés. - Encombrement réduit - Système de détection du ...
... L'APX300-S est issu d'une technologie éprouvée de gravure à sec, y compris le développement breveté de la bobine de plasma inductif multi-spirale (MS-ICP) et son application à la matrice de matériaux semi-conducteurs ...
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