Ellipsomètres

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ellipsomètre spectroscopique
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ellipsometre

Un ellipsomètre est un instrument d'analyse et de caractérisation de surfaces qui mesure la différence d'état de polarisation d'un faisceau lumineux avant et après réflexion sur une surface à analyser.

Applications

Les ellipsomètres peuvent être utilisés pour mesurer l'épaisseur des couches minces dans l'industrie optique ou micro-électronique, analyser des couches de protection ou traitements de surface, mesurer la rugosité d'une surface, etc.

Technologies

Les principaux types d'ellipsomètres sont les ellipsomètres spectroscopiques qui balayent le spectre lumineux et les ellipsomètres laser qui utilisent une source laser monochromatique.