Analyseur de gaz de process QULEE CGM series

de gaz résiduelde surveillancede process

MONITEUR COMPACT DE GAZ DE PROCESS - SÉRIE QULEE CGM "Qulee" (prononcé "KLEE"), est le dernier modèle ULVAC pour l'analyse des gaz résiduels et la surveillance des gaz pendant le processus. Les retours d'expérience des ingénieurs des différentes lignes de production sont incorporés dans la nouvelle conception du produit, qui offre la plus grande simplicité d'utilisation. Le Qulee offre une précision et une résolution élevées même à haute pression (1Pa ou moins).idéal pour le système de pulvérisation cathodique Idéal pour la surveillance de différents systèmes de pulvérisation cathodique Système de pompage différentiel non requis Aucun système de pompage différentiel requis (à 1Pa (7,5×10-3 Torr, 1×10-2 mbar) ou moins) Afficheur intégré Pas besoin de PC Utilisation simple "Fonction "One Click Bake Out Max 120˚C (248˚F) cuisson à haute température (250˚C (482˚F (482˚F)) lorsque sont enlevés) Fonction Degas Bombe à électrons dégazée Caractéristiques de protection et d'entretien Maintenance de la protection des sources d'ions et des multiplicateurs d'électrons secondaires fonction aide Traçabilité du tube d'analyse (brevet en instance) Différents tests d'étanchéité sont disponibles Test d'étanchéité à l'hélium, test d'étanchéité à l'air, test de construction Mesure de la pression totale Capable de mesurer la pression totale (jauge d'ionisation) Qulee QCS est inclus Ce logiciel est inclus et compatible avec (Windows 7/8) QIP (Quick Install Package system) est inclus Paquet de mesure automatique (voir le catalogue d'options pour plus de détails) Norme applicable Conforme à la norme CE Surveillance de processus pour systèmes PV, FPD et semi-conducteurs Analyse des gaz résiduels dans un système PVD Contrôle des impuretés (H2O, etc.) dans un système PVD Pour les essais d'étanchéité