Pompe à vide sèche PRC series

mono-étagéepour eauà surpresseur mécanique

POMPE DE SURPRESSION MÉCANIQUE SÉRIE PRC En combinaison avec des pompes à vide sèches, des pompes à vide rotatives à huile ou des pompes à vide étanches à l'eau, les surpresseurs mécaniques peuvent augmenter la vitesse de pompage dans la plage de 10 kPa à 0,1 Pa, là où la vitesse de pompage des pompes d'ébauche diminue. La série PRC est conçue pour les procédés d'affichage à semi-conducteurs et à cristaux liquides qui exigent une propreté particulière. Le type de démarrage à pression atmosphérique peut être sélectionné en option. Sans huile Pas d'huile dans le corps de pompe, pour des performances stables même en cas d'évacuation de vapeur d'eau ou de vapeurs de solvant. Moteur à rotor noyé L'utilisation d'un moteur à rotor noyé pourrait éviter l'utilisation d'une garniture mécanique entre l'atmosphère et le vide. Il peut être utilisé dans des endroits propres l'environnement sans souci de fuite d'huile. Excellent traitement de surface résistant à la corrosion Revêtement d'oxyde anodique pour la dureté de surface et corrosif la résistance sur les pièces principales peut prévenir les rayures et la corrosion à l'intérieur de la pompe. Le traitement non superficiel peut être choisi comme suit option. Type de démarrage à pression atmosphérique pour une évacuation plus courte Type (Option : Onduleur) Ce type de pompe peut raccourcir le temps de pompage par rapport à type standard parce que la pompe démarre en même temps que la pompe pompe de dégrossissage.