Système anti-vibrations actif Stage-Base 450

TMC continue d'appliquer les progrès de la technologie pour développer de nouvelles solutions aux exigences difficiles que les outils pour semi-conducteurs imposent à leurs systèmes d'isolation des vibrations. Stage-Base 450 est spécialement conçu pour être le principal système d'annulation des vibrations pour les outils à semi-conducteurs avancés qui intègrent des platines X-Y motorisées de haute précision. Si ces outils nécessitent une suppression des vibrations extrêmement efficace, il est tout aussi important que le mouvement de la charge utile induit par la platine se stabilise très rapidement afin de maximiser le débit de l'outil. Avec l'ajout d'un VCM avec contrôle de l'avance pour un temps de stabilisation encore plus rapide afin d'augmenter le débit, le résultat est le système le plus avancé d'annulation active des vibrations et des mouvements pour les applications de platines mobiles. L'avantage du système Stage-Base Stage-Base 450 est la nouvelle génération d'annulation active de vibrations piézoélectriques à montage dur intégrant la technologie de bobine mobile. Seule TMC peut offrir cette technologie unique de type série pour une suppression avancée des vibrations à basse fréquence avec des moteurs à bobine mobile (VCM) pour une suppression agressive des mouvements sur scène mobile. Le système de contrôle actif de nouvelle génération Stage-Base 450 intègre la technologie STACIS de TMC pour obtenir une annulation extrême des vibrations à l'aide d'actionneurs piézoélectriques et d'une suspension rigide dans une architecture de type série. Il en résulte une isolation des vibrations du sol à partir de 0,6 Hz, inégalée dans l'industrie, avec une déflexion initiale nettement inférieure en réponse aux forces de la scène. -Incorpore la technologie unique STACIS® -Utilise des actionneurs piézoélectriques à force élevée et à course étendue -Répétabilité du positionnement de la charge utile à quelques microns près -Conception pour montage sur cadre -6 degrés de liberté actifs