Transmetteur de vide avec capteur combiné (Piezo/Pirani) VSL

RS485EtherCAT

Le capteur de vide VSL a été spécialement développé pour les sas de chargement. Le manomètre scellé en métal utilise une technologie multi-capteurs et combine deux piézos avec un capteur Pirani. Par conséquent, le capteur de vide mesure la pression absolue dans la plage de 1200 ... 1e-4 mbar ainsi que la pression relative par rapport à l'environnement dans la plage de -1060 ... +340 mbar. Vue d'ensemble du transducteur de vide VSL avec multi-capteur Piezo/Pirani : - Système multi-capteur intégré : Deux capteurs à membrane piézoélectrique pour surveiller le pompage et la mise à l'air libre de la chambre ; un capteur Pirani mesurant jusqu'à 10-4 mbar contrôle le transfert de basse pression entre le sas de chargement et la chambre de traitement, minimisant ainsi les événements liés aux particules - Interfaces numériques RS485 et signal de sortie 0-10 V, EtherCAT ou PROFINET - Sortie de pression différentielle pour le déclenchement précis de la fonction d'ouverture de porte - Haute précision, résolution optimale et excellente stabilité - Temps de réponse court (jusqu'à 40 ms) - Mesures stables grâce à une compensation de température optimisée - Mesures indépendantes du type de gaz au-dessus de 20 mbar