Machine de polissage de bords EP-X series

automatiquede surfacemiroir

Les SpeedFam EP-X sont des polisseuses de bords à haut débit pour les tranches de silicium de 300 mm, 200 mm et 150 mm. Outre le polissage de nos trois surfaces uniques (biseaux supérieur/inférieur et apex de la tranche), nous proposons également un polissage miroir des zones plates et des encoches pour éliminer les dommages et préparer l'ensemble de la zone de biseautage des bords SpeedFam a expédié environ 550 Edge Polishers pour des plaquettes de premier choix depuis 1988. La SpeedFam Edge Polisher est la norme mondiale en matière de préparation des bords, utilisée dans les usines de plaquettes de premier choix du monde entier. SpeedFam prend en charge la production de plaquettes de 300 mm, 200 mm et 150 mm. Les SpeedFam EP-X sont des polisseuses de bords à haut débit pour les tranches de silicium de 300 mm, 200 mm et 150 mm. En plus de nos trois polissages de surface uniques (biseaux supérieur/inférieur et apex de la tranche), nous proposons également un polissage miroir de la zone d'orientation et de la zone de l'encoche pour éliminer les dommages et préparer tout le domaine de la zone du biseau de bord.