Vanne à opercule XGTP series
manuellepour gaz neutrepour wafers

vanne à opercule
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Caractéristiques

Type
à opercule
Actionnement
manuelle
Media
pour gaz neutre
Application
pour wafers
Pression

Min: 450 000 Pa
(65,3 psi)

Max: 600 000 Pa
(87 psi)

Température

150 °C
(302 °F)

Description

・Longue durée de vie : 3 millions de cycles (dans une plage de température standard) ・Faible génération de particules : Réduite de 1/5 ou plus (par rapport au produit existant) ・Entretien plus facile Remplacement facile des soufflets La porte peut être remplacée par le haut. (Fabriqué sur commande) ・Mesures de sécurité Un mécanisme de verrouillage mécanique des extrémités a été adopté.

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