Système de positionnement à 3 axes

à portiquepour l'inspection de Wafer et métrologie

Solutions d’écran plat personnalisées Notre solution destinée à l’exigeante industrie des écrans plats comporte des procédés allant de l’AOI au contrôle par ultrasons multiéléments en passant par la métrologie avec écran photodiélectrique. Plus de 800 systèmes sont installés partout dans le monde. Certains sont directement fabriqués et assemblés en Asie. Afin de réduire les coûts globaux, SCHNEEBERGER innove en utilisant sa propre alternative au granite : la fonte minérale. Cette fonte au grand pouvoir amortissant permet notamment d’optimiser le poids total du système et de réduire ainsi les coûts de traitement et d’expédition. En savoir plus sur la fonte minérale Caractéristiques des « systèmes grand format » au POI* - Configuration : XYZ ou + Z (portique) - Longueur : jusqu’à 3 500 x 2 700 mm - Précision : ≤ 10 µm (sur intervalle de mesure, sur carte) - Répétabilité : ≤ 2 µm - Stabilité : ≤ 10 nm (en 1s ptp) - Temps de montée : < 500 ms pour 300 mm - Vitesse Cst : < 0,01 % à <100 mm/s - Rectitude : < 20 um sur 3 000 mm - Planéité : < 20 um sur 3 000 mm